外観検査
技術概要
生産工程において外観検査により品質を担保し、お客様に高品質の製品を提供することができます。特に光学部品の外観は製品の性能に影響するため、取り扱いは繊細で、高い外観品質基準が設定されます。
製品や製品を構成する部品のキズや付着物などを目視や計測などにより、基準をクリアしているか検査します。特に光学部品では、表面はナノメートルオーダーでの表面粗さが求められます。微小な付着物やキズ、欠陥も光学性能の悪化につながります。検出基準が微小であることに加え、レンズ等の透明体となると、検知することは非常に難しくなります。適切な波長、強度の光源を用いてさまざまな方向から光を照射して観察・計測し、付着物なのかキズなのか、そのサイズの判別と合否判定を行います。
ニコンではカメラや顕微鏡対物レンズ、半導体露光装置等、様々な性能が要求される製品を扱っています。
各製品における外観検査基準に基づき、付着物やキズ、欠陥の種類および大きさに応じて、合否を判別します。付着を除去したり、キズや欠陥の場合はその大きさなどに応じて再加工するなど工程での対応が必要となります。どの工程由来のものかも判別し、各生産工程へフィードバックをおこないます。
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