FPD露光装置
薄型・大型化、そして高精細化するフラットパネルディスプレイの進化に貢献
スマートフォンやタブレット型端末、家庭用の薄型テレビや街頭のデジタルサイネージなど、家庭や街中などあらゆる場面で目にするフラットパネルディスプレイ（FPD）。年々、薄型・大型化が進み、より美しく、高精細な映像が気軽に楽しめるようになっています。
この進化に大きく貢献しているのが、ニコンのFPD露光装置です。
フラットパネルディスプレイのなかでも主流となっているのが、液晶／有機ELディスプレイです。どちらも、ひとつの画素は赤・緑・青の3色で構成され、それぞれの色に光を通すためのスイッチ機能を持った薄膜トランジスタ（Thin Film Transistor=TFT）が付いています。たとえば、画素数が800万を超える4K（UHD=Ultra HD）ディスプレイでは、各画素に付属しているTFTの数も、800万×赤・緑・青の3色分で2,400万個以上になり、これらのTFTを制御することで高解像度の映像を映し出しています。
この微細なTFTをガラスプレートにパターニングするのが「FPD露光装置」です。
FPD露光装置は、TFT回路パターンが描かれた原版であるフォトマスクに光を照射。レンズを通してガラスプレートに回路パターンを露光します。大型のガラスプレートでは、複数回にわたって露光を繰り返し、ガラスプレート全体に回路を形成していきます。
大型化、高精細化への対応
フラットパネルディスプレイの製造では、ガラスプレートが大型化するとともに、ディスプレイの高精細化が進んでいます。こうした需要に、最も大きな第10.5世代ガラスプレートによる65インチ以上の大型パネルも効率的に生産できる装置や、第6世代プレートによる高精細中小型パネルの量産に対応する装置で応えています。一度に高範囲を高解像度でパターニングする露光技術や、ガラスプレート表面の歪みの計測・補正技術など、多くの独自技術を開発し、フラットパネルディスプレイの生産性向上に貢献しています。
マルチレンズ・システム
年々大型化が進むガラスプレートからより多くのパネルを切り出すようになると、一回の露光でより広い範囲へのパターニングが可能な高い生産性が求められます。これを実現するためにニコンが独自開発した技術がマルチレンズ・システムです。大型ガラスプレートを効率よく露光するために、ニコンでは複数のレンズを2列に並べることで、広い露光範囲を確保しました。最大のFPD露光装置である「FX-103SH/103S」では、14本ものレンズを並べ、これを1本の巨大レンズのように精密に制御して露光しています。
