産業用カメラレンズ「Rayfact RF3-6x可変倍率レンズ」「Rayfact RF3-6x可変倍率レンズ プリズムタイプ」を発売
微細化と高集積化が進む半導体パッケージ基板や電子部品の外観検査に最適
2025年1月15日PRESS RELEASE/報道資料
株式会社ニコンは、産業用カメラレンズ「Rayfact（レイファクト） RF3-6x可変倍率レンズ」と「Rayfact RF3-6x可変倍率レンズ プリズムタイプ」を発売します。「Rayfact」のRFシリーズは、半導体ウェハやフラットパネルディスプレイ（FPD）基板の微細パターン検査に適しており、高画素数のラインセンサーカメラ※1や大型エリアセンサーカメラ※2に対応した産業用カメラレンズです。
今回発売する「Rayfact RF3-6x可変倍率レンズ」、「Rayfact RF3-6x可変倍率レンズ プリズムタイプ」は、次世代半導体パッケージやマイクロLEDパネルの微細パターンなど、高精度な外観検査向けに設計されています。従来製品に比べ、分解能と明るさが向上しており、微小な欠陥の検出に高いパフォーマンスを発揮します。さらに、「Rayfact RF3-6x可変倍率レンズ プリズムタイプ」は、さまざまな検査用途や使用環境を想定し、落射照明に最適化した光学系を採用しています。
なお、本製品は、「第39回 ネプコン ジャパン」（期間：2025年1月22日～24日、場所：東京ビッグサイト）にて出展します。
- ※1光を受ける感光部が1列（リニア）に配置されたセンサーを備え、検査対象全体を走査して撮影する検査用カメラ。
- ※2光を受ける感光部が面（エリア）となっているセンサーを備え、検査対象全体を分割して撮影する検査用カメラ。
発売概要
| 商品名 |
「Rayfact RF3-6x可変倍率レンズ」 「Rayfact RF3-6x可変倍率レンズ プリズムタイプ」 |
|---|---|
| 受注開始日 | 2025年2月1日 |
主な特長
- 1本のレンズで3倍から6倍まで倍率範囲の変更が可能
- 使用倍率全域において少ない性能差を確保
- イメージサークルΦ82mm、高解像度大型ラインセンサー※カメラの性能を最大限に引き出す光学設計
- F1.8で明るく鮮明な撮影が可能
- 物体側へのプリズム配置を想定した光学最適化タイプを準備（同軸落射：厚み30mm）
- 絞り・フローティング機構を外部駆動にて操作できるよう、絞りリング・フローティングリングにギアを搭載
- ※大型ラインセンサー：3.5μ×23K / 5μ×16K対応
主な仕様
横にスクロールしてご覧ください。
| 型式 | BA01941 / BA01951（プリズムタイプ） |
|---|---|
| 使用倍率範囲 | -3x ～ -6x |
| Fナンバー（∞） | F1.8 ～ F11 |
| 波長範囲（nm） | 400 ～ 700 |
| イメージサークル（mm） | Φ82 |
| マウント | M67（P=0.75）おねじ |
| 外形寸法（mm）※1※2 | Φ110×166.1 |
| 質量（g）※1 | 約2,450 |
横にスクロールしてご覧ください。
| 倍率 | -3x | -3.5x | -5x | -6x |
|---|---|---|---|---|
| 焦点距離（mm）※1 | 108.9 | 108.4 | 107.5 | 107.1 |
| NA※1 | 0.208 | 0.214 | 0.226 | 0.231 |
| 物像間距離（mm）※1 | 593.3 | 640.1 | 787.3 | 888.3 |
| ワーキングディスタンス（mm）※1 | 93.3 | 88.3 | 79.4 | 75.5 |
| 歪曲収差（%）※1※3 | 0.07以下 | |||
| 周辺照度比（%）※1※3 | 90以上 | |||
| 物体サイズ（mm） | 27.3 | 23.4 | 16.4 | 13.7 |
- ※1「Rayfact RF3-6x可変倍率レンズ プリズムタイプ」の仕様となります。
- ※2ロックねじおよびマウントねじは含まない寸法となります。
- ※3最大像高（Y'=41.0mm）、F1.8での数値となります。
こちらに掲載されている情報は、発表日現在の情報です。販売が既に終了している製品や、組織の変更等、最新の情報と異なる場合がありますのでご了承ください。