CNC画像測定システム「NEXIV VMZ-S3020」を発売

車載向け電子、半導体部品の測定に最適な、NEXIV（ネクシブ）の新シリーズ

2020年11月12日PRESS RELEASE/報道資料

株式会社ニコン（社長：馬立稔和、東京都港区）の子会社、株式会社ニコンソリューションズ（社長：園田晴久、東京都品川区）は、電子、半導体部品など、精密な被検物を対象としたCNC画像測定システムの新たなラインアップ「NEXIV VMZ-S」シリーズを開発し、その第一弾として「NEXIV VMZ-S3020」を発売します。

CNC画像測定システム「NEXIV」は、ニコン独自の光学技術と画像処理技術を用いて、電子、半導体部品などの寸法を自動で測定する装置です。取得した画像を解析し、エッジを高速で正確に検出することにより、複雑な形状の被検物も素早く測定することができます。今回発売する「NEXIV VMZ-S」シリーズは、従来機種の「NEXIV VMZ-R」シリーズの精度を維持しながら、更なる高スループット化を実現しました。

なお、「NEXIV VMZ-S3020」は、「JIMTOF 2020 Online」（2020年11月16日～12月11日）に出展します。

また、より大型なステージサイズのラインアップ「NEXIV VMZ-S4540」および「NEXIV VMZ-S6555」を現在開発中で、2021年後半に順次発売予定です。

発売概要

商品名	CNC画像測定システム「NEXIV VMZ-S3020」
価格（税別）	1,000万円～（価格は仕様により異なります）
受注開始時期^*	2020年11月12日

*出荷開始時期は2021年1月となります。

開発の背景

近年、自動車業界では、自動運転やEV市場拡大を背景に電装化が急速に進み、自動車に使用される電子、半導体部品が増加しています。人々の命に関わるため、搭載される部品には厳格な品質管理が求められ、測定機器への期待は大きくなっています。ニコンは、車載向け電子、半導体部品などの測定用途に最適なCNC画像測定システム「NEXIV VMZ-S」シリーズを提供します。

主な特長

1. 高いスループット

「NEXIV VMZ-S3020」は、高精度リニアエンコーダと精密動作ステージによる高い測定精度を発揮しながら、ステージ移動と画像処理の高速化により、従来機種「NEXIV VMZ-R」シリーズと比べて更なる高スループット化を実現。お客様から定評があった精度や再現性を損なわずに、測定タクトタイムの短縮を可能にしました。

2. 高品質画像、高精度測定

歪みがない高品質画像により、視野内の中心付近でなくても信頼性の高い測定結果が得られます。
また、被検物の形状に応じて垂直落射照明、透過照明、8分割リング照明の選択や、光量・照射方向を最適化することにより、検出の難しいエッジもシャープに捉えることができます。さらに、1000点/秒の高速レーザースキャンにより、被検物の断面形状を取得、高さ方向の形状評価にも対応します。多種多様な部品の測定ニーズに応えます。

3. 優れたユーザビリティ

シリーズ共通の寸法測定ソフトウエア「NEXIV AutoMeasure」により、快適かつ効率的に寸法測定を行えます。また、単純形状を対象に、測定プログラムの作成工程の一部を自動化する機能を追加しました。
さらに、ステージや測定ヘッドの移動を操作するジョイスティックユニットは、NEXIVシリーズをご使用のお客様の要望に応え、より使いやすいデザインに一新しました。

主な仕様

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ストローク（X × Y × Z）	300 × 200 × 200 mm（タイプTZ 低倍対物使用時：250 × 200 × 200 mm）
最小表示単位	0.01 μm
被検物最大質量	20 kg（精度保証値：5 kg）
測定精度（Lは測定長さ（mm））	E_UX,_MPE, E_UY,MPE（X軸、Y軸精度）：1.2 + 4L/1000 μm E_UXY,_MPE（XY軸精度）：2.0 + 4L/1000 μm E_UZ,_MPE（Z軸精度）：1.2 + 5L/1000 μm
カメラ	白黒/カラー 1/3型CMOS
光学ズームタイプ^* （倍率・視野）	タイプ1：（0.5～7.5x・9.33 x 7 ～ 0.622 x 0.467 mm）タイプ2：（1～15x・4.67 x 3.5 ～ 0.311 x 0.233 mm）タイプ3：（2～30x・2.33 x 1.75 ～ 0.155 x 0.117 mm）タイプ4：（4～60x・1.17 x 0.88 ～ 0.078 x 0.058 mm）タイプTZ：（1～120x・4.67 x 3.5 ～ 0.039 x 0.029 mm）タイプA：（0.35～3.5x・13.3 x 10 ～ 1.33 x 1 mm）
オートフォーカス	レーザーAF（タイプAはオプション）、イメージAF
照明^*	タイプ1～4：垂直落射、透過、8分割リング照明（全系統白色LED光源/タイプ1,2,3は3角度、タイプ4は1角度）タイプTZ：垂直落射、透過（VMZ-S3020の低倍側を除く）、暗視野照明タイプA：垂直落射、透過、8分割リング照明（全系統白色LED光源/1角度）
供給電源 / 消費電流	AC100-240V、50/60Hz / 4A – 2A
寸法（W × D × H）/ 質量	本体+測定台：700 × 730 × 1793 mm / 約265 kg コントローラー：190 × 450 × 450 mm / 約12 kg
設置寸法（W × D）	2700 × 2400 mm

*測定用途に応じて、6種の光学ズームタイプから選択が可能です。また、選択する光学ズームタイプにより、対応する照明のタイプが変わります。