ニコン ArFスキャナー「NSR-S322F」を発売

重ね合わせ精度とスループットを向上させた露光装置

2014年11月26日PRESS RELEASE/報道資料

株式会社ニコン（社長：牛田一雄、東京都港区）は、最新型 ArFスキャナー「NSR-S322F」の販売を12月より開始します。この新型露光装置は、実績のあるストリームラインプラットフォームを採用したNSR-S320Fの重ね合わせ精度とスループットをさらに向上させ、お客様の先端デバイス製造における高精度化と安定量産のニーズに応えます。

発売概要

商品名	ArFスキャナー「NSR-S322F」
販売開始時期	2014年12月より

新製品概要

IT革命の根幹を担う超LSIの高集積化・微細化が進み、半導体業界では10ナノメートルノードプロセスのデバイス開発・生産に移行しています。最先端のArF液浸スキャナーと併用されるArFスキャナーにとっても、重ね合わせ精度が非常に重要となります。
NSR-S322Fは、現行機種と比較し重ね合わせ精度とスループットを向上させ、既存プラットフォームの継続採用によりお客様先での迅速な装置立上げを可能にしました。

ストリームラインプラットフォームの主な特長

1. 重ね合わせ精度の大幅な向上を実現する新干渉計システム

バーズアイ・コントロール（Bird's Eye Control）
エンコーダを利用し、空気揺らぎの影響を受けずにステージの位置を計測し、従来の干渉計計測とのハイブリッドなシステムを構成。重ね合わせ精度を大きく向上しました。

2. スループットの大幅な向上を実現する新計測技術

ストリームアライメント（Stream Alignment）
FIAの5眼化により、短時間でのアライメント計測を可能にしました。5眼化の効果により、全ショットに近い多点計測時でもスループット低下を最小限に抑え、現行機種に比べ約5％のスループットを向上させています。

3. メンテナンス性向上のための新モジュール構造

モジュラースクエアード・ストラクチャ（Modular² Structure）
階層的なモジュール化を実現する事により、お客様先での立ち上げ時間を短縮し、さらに部品交換も平易化しました。そのため、メンテナンス性が大幅に向上しました。

主な性能

ArFスキャナー NSR－S322F

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解像度	65 nm以下
NA（開口数）	0.92
光源	ArFエキシマレーザー（波長:193 nm）
縮小倍率	1/4倍
最大露光領域	26×33 mm
重ね合わせ精度	2.0 nm以下（SMO） 5.0 nm以下（MMO）
スループット	230枚以上（300 mmウェハ毎時）96 shots

※SMO(Single Machine Overlay)：
同一号機間の重ね合わせ精度（例　S322F#1 to S322F#1）
※MMO(Mix and Match Overlay)：
同一機種間の重ね合わせ精度（例　S322F#1 to S322F#2）