ニコン液晶露光装置「FX-67S」を発売

2マイクロメートルの高解像度を達成した露光装置　

2012年10月23日PRESS RELEASE/報道資料

株式会社ニコン（社長：木村眞琴、東京都千代田区）は、液晶露光装置の新製品「FX-67S」の販売を開始いたします。
「FX-67S」は、スマートフォンに代表される高機能モバイル機器の普及に伴って需要が拡大している中小型の高精細液晶パネル及び有機ELパネル製造に最適な露光装置です。

（1）発売概要

商品名	液晶露光装置「FX-67S」
販売開始	2012年10月より

（2）新製品概要

スマートフォンに代表される高機能モバイル機器の普及に伴い、高精細液晶パネル及び有機ＥＬパネルの更なる生産効率の向上が求められています。
「FX-67S」は、大型プレート基板による高精細中小型パネルの生産に対応した露光装置です。スキャナー方式により、生産性向上と高解像度・高精度アライメントを同時に実現させました。
既に発売を開始しております「FX-66S」とこの「FX-67S」を組み合わせて使用することにより、最適な生産ラインが構成できます。

（3）FX-67Sの主な特長と仕様

高解像度

複数の投影レンズで構成されたマルチレンズシステムの高解像度化のために、新たな調整機構を採用し、さらに独自の解像度向上技術を採用した照明系を新規開発しました。また計測ポイントを最適化した新オートフォーカスシステムも搭載し、2マイクロメートル（^※L/S）の高解像度を達成しながら広い実用焦点深度も同時に確保しています。

※L/S：Line and Space の略

高精度アライメント

新たに測長干渉計軸を増やし、位置計測システムを新設計したことにより計測安定性が向上し、±0.5マイクロメートルの高精度アライメントを実現しました。

高スループット

1,300mm×1,500mmプレートサイズの場合：
毎時20,000枚（4インチパネル）、毎時6,900枚（7インチパネル）

「FX-67S」の主な仕様

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解像度（L/S）	2.0 μm（g+h+i線）
投影倍率	1:1
アライメント精度	≦±0.5 μm
最大プレートサイズ	1,500 mm×1,850 mm
タクトタイム	54秒/プレート（条件） 1,300 mm×1,500 mm、 4スキャン、g+h+i線、30mJ/cm²