CNC画像測定システム「コンフォーカルNEXIV VMZ-K6555」の受注開始について

広視野で一括3次元測定を高速で行う大型基板対応の画像測定機

2009年3月23日PRESS RELEASE/報道資料

株式会社ニコン（社長：苅谷道郎）は、最先端の大型半導体基板などの3次元評価において、微細で複雑な形状の部品検査や評価を非接触で高速・高精度に行う大型、高倍率対応のCNC画像測定システム「コンフォーカルNEXIV(ネクシブ) VMZ-K6555」を開発。2009年3月30日より受注を開始します。

販売概要

商品名	CNC画像測定システム「コンフォーカルNEXIV VMZ-K6555」
価格	4,200万円～（税込4,410万円～）（仕様により異なります）
受注開始時期	2009年3月30日

開発の背景

CNC画像測定システム「NEXIVシリーズ」は、光学測定技術とコンピュータによる画像処理技術を用いて、各種精密機器・電子部品等の寸法・形状を高精度に自動測定・検査する装置です。CCDカメラで取り込んだ画像から被検物のエッジを検出、データ処理をすることで、複雑な形状の被検物でも測定が可能です。
今回、市場での大型サンプル測定とさらなる高精度測定のニーズを受けて、大型、高倍対応の「コンフォーカルNEXIV VMZ-K6555」を開発しました。共焦点光学系を用いて、高速・高精度で微細な立体形状を検出し、大型ステージにより大型サンプル（X,Y: 650mmx550mm）の評価が可能です。
デジタルスチルカメラ、携帯電話などの小型・軽量化、高性能化に伴う高密度実装技術を実現する最先端の大型インターポーザ基板^*1、半導体のさらなる高集積化により多端子化、大型・高精度化するプローブカード^*2などの微細な複雑形状の部品検査などに最適で、その他、精密光学部品、超精密金型など微細複雑な立体形状の評価といったさまざまなニーズにお応えします。

※1インターポーザ基板：端子ピッチが異なるLSIチップとメイン基板の間を中継するもの。
※2プローブカード：ウェハを個々のチップに切り離す前にテストする為の治具。

主な特長

1. 大型サンプルの測定が可能

大型ステージにより、X,Yストローク650mmＸ550mmを実現し、想定被検物サイズ（インターポーザ基板サイズ 510mm角、プローブカードサイズφ500mm）の大型サンプルにも対応可能です。

2. 高倍対応ヘッドタイプと標準倍率対応ヘッドタイプの選択が可能

高倍対応ヘッドの「Type H」は30倍対物レンズを装着可能であり、配線幅3μmの測定が可能です。標準対応ヘッドの「Type S」では、1.5倍, 3倍, 7.5倍の3種類の対物レンズが装着可能であり、広視野でより高いスループットを優先させた測定が可能です。

3. 汎用測定能力の向上

「NEXIVシリーズ」の操作性や画像AF、物体の形状を継続的にオートフォーカスしながらスキャンして高さ（Z軸方向）データを蓄積することで、形状評価に利用される倣いレーザAFといった機能の共通化により、汎用測定能力が向上しました。また高さ検出の分解能が向上したことで、Z軸方向は、最小分解能0.01μmの高分解能スケールを搭載し、同時にZ軸方向の測定精度も、~~1+L/150μm~~1+L/1000μm^*3に向上しました。

※3Lは、対物レンズの作動距離内の測定長で単位はmm。
※数値(1＋L/1000μm)に関しては、2009年3月24日に修正しました。

4. 2次元測定用の明視野光学系を搭載

従来の「NEXIVシリーズ」で実績のある15倍のCNCハイスピードズームの搭載により、測定箇所に合わせた最適な倍率での明視野2次元測定が可能です。

5. 同一視野での2次元、3次元測定が可能

共焦点光学系と2次元測定用の明視野ズーム光学系を併せ持つマルチ検出ヘッドにより、同一視野での2次元、3次元測定観察が可能です。

主な仕様

横にスクロールしてご覧ください。

モデル	VMZ-K6555
	Type H	Type S
倍率	30X	7.5X	3X	1.5X
W.D.	5mm	5mm	24mm	24mm

共焦点光学系（エリア高さ測定）

横にスクロールしてご覧ください。

最大高さスキャン範囲	1mm	1mm	1mm	1mm
視野範囲	0.4mm×0.3mm	1.6mm×1.2mm	4mm×3mm	8mm×6mm
~~測定精度（2σ）~~ 繰返し精度（2σ）	0.2μm	0.25μm	0.35μm	0.6μm
高さ分解能	0.01μm
スキャン時間	1.5秒/FOV

明視野光学系（2次元測定）

横にスクロールしてご覧ください。

変倍方式	電動5段階ズーム
視野範囲 (mm)	0.63×0.47 ～0.049×0.037	1.6×1.2 ～0.11×0.08	4×3 ～0.27×0.2	8×6 ～0.53×0.4
照明	透過、同軸落射	透過、同軸落射、斜光
照明光源	白色LED
オートフォーカス	TTLレーザAF/イメージAF

本体

横にスクロールしてご覧ください。

ストローク（X,Y,Z）	650mm×550mm×150mm
精度保証質量 ~~（許容搭載質量）~~	30kg~~（60kg)~~
XY測定精度 U1X/Y	1.5＋2.5L/1000μm
U2XY	2.5＋2.5L/1000μm
Z測定精度	~~1＋L/150μm~~ 1＋L/1000μm
本体質量	~~約800kg~~ 約850kg
供給電源／消費電流	AC100 – 240V ±10% 50/60 Hz /10A – 5A
~~環境条件　使用~~ 使用環境条件	温度：20℃±0.5K／湿度：70%以下
取得規格	CEマーキング（低電圧／EMC／レーザ）

※一部「主な仕様」の項目および数値に関しては、2009年3月24日に修正しました。