ニコン液晶露光装置「FX-75S」「FX-85S」の発売について

マルチレンズ投影光学系搭載の第7～8世代機

2008年10月20日PRESS RELEASE/報道資料

株式会社ニコン（社長：苅谷道郎）は、第7～8世代のプレートサイズに対応した液晶露光装置「FX-75S」「FX-85S」新型2機種の販売を開始いたします。
FX-75S・FX-85Sは、需要の拡大している液晶テレビに代表される、大型液晶ディスプレイパネルの製造に最適な液晶露光装置です。
FX-75S・FX-85Sは、いずれも従来機種に対し生産性を17～20%向上し、高生産性を主眼に開発した新型機種です。

販売概要

商品名	ニコン液晶露光装置「FX-75S」「FX-85S」
販売開始時期	2008年10月より

開発の背景

液晶テレビは数量ベースで、世界テレビ市場の過半数を超え、急速な普及が進んでいます。また、そのフラットパネル（省スペース）という特徴とともに、従来のブラウン管テレビでは実現できなかった画面サイズの大型化もさらに進化しております。
一方、デジタルサイネージに代表される大型インフォメーションディスプレイも近年大きな注目を浴びつつあります。
これらの大型液晶ディスプレイの普及の為に、製造装置には従来より高い生産性が求められております。
ニコン液晶露光装置「FX-75S」「FX-85S」は、従来機種をベースに、各部に改良を施すことにより、大幅な生産性の向上を実現いたしました。
高性能に加え高い生産性により、40～50インチクラスの液晶パネル量産において最大の生産効率を発揮いたします。

FX-75S、FX-85Sの主な特長

1. マルチレンズ投影光学系を搭載

11本の投影レンズで構成されたマルチレンズ投影光学系を搭載。一回の走査露光で最大57インチワイドパネルを焼き付けることが可能。48インチワイドパネルでは、2面焼き付けることが可能。

2. 高スループット

FX-75S(1950×2250mm)の場合：: 毎時496枚（42インチワイドパネル）、毎時378枚（48インチワイドパネル）
FX-85S(2200×2500mm)の場合：: 毎時480枚（46インチワイドパネル）、毎時322枚（52インチワイドパネル）

3. 大型プレートサイズ対応

第7～8世代サイズの大型プレートサイズに対応。
一枚のガラスプレートから最大下記の通りのパネル数が得られます。

FX-75S(1950×2250mmの場合)：: 8面(42インチワイドパネル)、6面(48インチワイドパネル)
FX-85S(2200×2500mmの場合)：: 8面(46インチワイドパネル)、6面(52インチワイドパネル)

4. 広い露光範囲と高解像度の両立を実現

マルチレンズ投影光学系の搭載により、広い露光範囲を確保しながらも、3マイクロメートル以下の(L/S時)の高解像度を達成しています。

主な仕様

横にスクロールしてご覧ください。

	FX-75S	FX-85S
解像度 (オプション)	3.5μm(g+h+i線) 3.0μm (i線)	3.5μm(g+h+i線) 3.0μm (i線)
投影倍率	1 : 1	1 : 1
アライメント精度	0.6μm 以下	0.6μm 以下
最大プレートサイズ	1950×2250ｍｍ	2200×2500ｍｍ
マスクサイズ	1220×1400ｍｍ	1220×1400ｍｍ
タクトタイム	58秒/プレート^※	60秒/プレート^※

※いずれも(4スキャン,g+h+i線,30mj/cm²)時