ニコン露光装置ユニット・総合調整

微細技術の極致を行く露光装置、今、ナノの領域へ

高度情報社会にあって、LSIは欠かすことのできない基板デバイスのひとつです。
半導体デバイスは常に、大容量化・小型化・省電力化・高速化・低価格化を要求され続けています。
それを可能とするためにニコン露光装置は進化し続けています。
いわば、ニコンの最先端技術が情報社会のさらなる躍進を根底で担っているといっても過言ではありません。ニコングループでは総力をあげて露光装置の開発にあたっています。その中で栃木ニコンプレシジョンは、露光装置全機種を構成するユニットの設計から製造を担当しております。

開発、設計、製造からメンテナンスまで

栃木ニコンプレシジョンでは、昭和58年からニコン露光装置ユニットの生産を開始、長年培った生産能力・技術力により、ニコングループでの露光装置ユニット重要拠点として、装置の性能、信頼性を世界中のお客様に認めていただいております。
露光装置のユニットや周辺機器の開発・設計・製造からお客様先へ届けられた露光装置に対する技術サービスを行うために、3次元CADを利用した開発設計システム、情報管理システム、製造支援システムなどのIT技術を駆使したさまざまなシステムを構築し、万全の体制で臨んでおります。