精機事業

これからの超スマート社会実現のために

IoTやAIのさらなる高度化のカギを握る半導体や高精細パネル。
ニコンは、それらの回路を光で焼き付ける製造装置の開発・製造を通じて、超スマート社会の実現を支えています。

フラットパネルディスプレイ（FPD）の製造プロセスとFPD露光装置

FPD露光装置

FPDの基板となるガラスプレート表面に各画素を制御するための回路パターンを露光します。ニコン独自の技術であるマルチレンズ・システムを採用した大型パネル向け露光装置から、スマートデバイスなどの中小型パネル向け露光装置までを提供。マルチレンズ・システムに象徴される、たゆみない技術開発でFPD露光装置の高いシェアを獲得しています。

半導体の製造プロセスと半導体露光装置

半導体露光装置

半導体の基板であるウェハに、回路パターンを縮小して露光します。
半導体露光装置は半導体の製造工程の要を担う装置で、nm（ナノメートル:10億分の1m）単位の精度が求められ、「史上最も精密な機械」と言われています。

製品紹介

FPDスキャナー FX-103SH

独自の解像度向上技術による照明系とマルチレンズシステムを、第10.5世代向けに最適化した露光装置です。高精細大型パネルの生産に最適で、4K・8Kテレビや高精細タブレットの液晶パネル、有機ELパネルなどの量産に貢献します。

FPDスキャナー FX-6AS

スマートデバイスに代表される、最先端の高機能モバイル機器に用いられる高精細有機ELパネルや液晶パネル製造に最適な露光装置です。
新開発の投影レンズを搭載し、高解像度、高精度アライメント、高スループットを実現。
また、光源波長には従来モデルと同じi線を採用しているため、現行の製造プロセスを踏襲したまま、高精細パネルの量産が可能です。

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ArF液浸スキャナー NSR-S635E

5ナノメートルプロセス量産用に開発されたストリームラインプラットフォーム採用のArF液浸スキャナーです。高機能アライメントステーションを搭載することで、装置間重ね合わせ精度2.1 ナノメートル以下、スループット毎時275枚以上（96 shots）という極めて高い精度と生産性を実現。最先端デバイス生産ラインの安定量産に貢献します。